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技術(shù)文章

非接觸式:渦流法測定-日本napson電阻測量儀EC-80

渦流法主要用于非接觸式,可測量1E-3(1m)至1E + 4(10k)Ω/□電阻范圍。

它可用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體,液晶和新型碳基材料等廣泛領(lǐng)域的測量。

渦電流測量系統(tǒng)使用電磁感應(yīng)產(chǎn)生的渦電流來測量電阻。

非接觸式測量探頭單元的探頭芯(磁性材料)在兩側(cè)(上下)以一定的間隙排列。

 

<非接觸式測量探頭單元的結(jié)構(gòu)>

●在渦流法中,按照以下步驟進(jìn)行測量。

(1)當(dāng)在探針芯之間施加高頻以產(chǎn)生磁通量并且插入樣本時,樣本中產(chǎn)生渦流。

(2)此時,(1)渦電流流過樣品→(2)樣品中消耗了電流,發(fā)生了功率損耗。

 →③電路中的電流成比例降低。檢測該減小的電流值。

(3)由于檢測到的電流值與樣品的電阻成反比關(guān)系,請使用此值。

 座電阻或電阻是從電流值和座電阻的校準(zhǔn)曲線(計算公式)得出的。

 ?。?計算電阻時需要樣品厚度信息)

 

 

緊湊且易于操作的手動非接觸式(渦流法)電阻測量儀

產(chǎn)品名稱:EC-80

產(chǎn)品圖片(可根據(jù)客戶要求進(jìn)行各種定制)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 一種簡單的測量儀器,只需在探針之間插入樣品即可進(jìn)行測量
  • 在電阻/薄層電阻測量模式之間輕松切換
  • 使用JOG撥盤輕松設(shè)置測量條件
  • *由于探頭是固定的,因此在購買前可以從幾種探頭中選擇一種。

測量規(guī)格

測量目標(biāo)

半導(dǎo)體/太陽能電池材料相關(guān)(硅,多晶硅,SiC等)
新材料/功能材料相關(guān)(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
硅基外延,離子與
半導(dǎo)體相關(guān)的注入樣品化合物(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)
其他(*請與我們聯(lián)系)

 

測量尺寸

?8英寸,或?156x156mm

 

測量范圍

[電阻] 1m至200Ω·cm 
(*所有探頭類型的總范圍/厚度500um)
[抗頁電阻] 10m至3kΩ / sq 
(*所有探頭類型的總范圍)

*有關(guān)每種探頭類型的測量范圍,請參閱以下內(nèi)容。
(1)低:0.01至0.5Ω/□(0.001至0.05Ω-cm)
(2)中:0.5至10Ω/□(0.05至0.5Ω-cm)
(3 ))高:10至1000Ω/□(0.5至60Ω-??cm)
(4)S-高:1000至3000Ω/□(60至200Ω-cm)

日本napson電阻測量儀EC-80

聯(lián)系人:林經(jīng)理
地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
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