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技術文章

光學式膜厚計概述-朝日分光OMD-1000

什么是OMD-1000?

這是一臺光譜膜厚監測儀,用于監測在用單色光進行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設備中,并作為膜厚監測設備完成,該設備具有氣相沉積零件制造商的專有技術。 

 

概述

全波長范圍

在傳統型號中,波長選擇是濾光片類型,但是新產品結合了我們久經考驗的光譜儀,現在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號是從電壓輸出到與個人計算機兼容的數字輸出,控制機制是從手動操作到個人計算機的命令控制。此外,通過將薄膜厚度計主體通過I / F直接連接到個人計算機來控制其厚度成為可能,這是一個非常緊湊的系統,無需像其他制造商那樣的控制器。

特征

  • 分光鏡設計緊湊
  • 通過提高抗噪聲性(靜電放電測試耐受電壓±5 kV)實現高度可靠的膜厚度監控
  • 可以通過PC的命令自動控制
  • 通過將控制器合并到接收器主體中來實現高性價比

車身配置和接線

產品概要

它連接到氣相沉積設備上,以監控薄膜厚度??梢匀缬覉D所示進行安裝。

反射型監視

透射式監控
(彎曲探照燈)

透射式監控
(直接連接到泛光燈)

商品構成

接收者

泛光燈

電源箱

高架法蘭
*包含在反光鏡盒中


反光鏡盒


透射鏡盒

■產品規格

型式OMD-1000
光譜儀類型Zellny Turner類型單單色
波長范圍保證范圍:380至900 nm可操作
范圍:350至1100 nm
波長分解能狹縫0.5mm:4.2nm [546nm]
狹縫1.0mm:8.3nm [546nm]
波長精度±1.0納米
小波長進給0.1納米
外部控制RS232C
外部輸出端子DC0-2V(滿量程)
采樣間隔100ms以上
靜電放電試驗耐電壓±5kV(實際8kV)
光源12V100W鹵素燈
光強度穩定性±0.1%/h 以下
輸入電壓AC100V 50/60赫茲
允許輸入電壓AC85?132V
視在功率340VA以下
使用環境溫度 10~35℃
濕度 20~80%

*請注意,產品規格和外觀如有更改,恕不另行通知。

聯系人:林經理
地址:深圳市龍崗區龍崗街道新生社區新旺路和健云谷2棟B座1002
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