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日本標準在線式薄膜測厚儀的檢測方法及標準

日本標準在線式薄膜測厚儀的檢測方法及標準

隨著科技的進步和精密儀器的應用,薄膜厚度的測量方法有很多,按照測量的方式分可以分為兩類:直接測量和間接測量。直接測量指應用測量儀器,通過接觸(或光接觸)直接感應出薄膜的厚度,常見的直接法測量有:螺旋測微法、精密輪廓掃描法(臺階法)、掃描電子顯微法(SEM);間接測量指根據一定對應的物理關系,將相關的物理量經過計算轉化為薄膜的厚度,從而達到測量薄膜厚度的目的。常見的間接法測量有:稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測量的原理可分為三類:稱量法、電學法、光學法。常見的稱量法有:天平法、石英法、原子數測定法;常見的電學法有:電阻法、電容法、渦流法;常見的光學方法有:等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

薄膜測試儀連續測厚機FT-A200 / FT-A200R

配備高精度測量頭和放大器單元的機器。
只需設置從生產線切出的薄膜,即可輕松連續測量厚度。

FT-A200 測量范圍 / 10 μm 至 200 μm
FT-A200R 測量范圍 / 3 μm 至 100 μm
測量分辨率/ 0.01 μm



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