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技術文章

半導體行業真空室內被處理物體的溫度如何檢測?

半導體行業真空室內被處理物體的溫度如何檢測?

用于測量真空室內被處理物體的溫度。

透過窗戶測量的圖像

通過窗口測量真空層或容器內的物體。

選型要點

Japan Sensor 產品提供范圍廣泛的測量距離和目標尺寸。
我們擁有適用于各種應用的產品陣容,例如最大 0.1ms 的高速響應和 0°C 至 1350°C 和 90°C 至 2000°C 等寬范圍測量。

所選機型

  • 在惡劣環境和狹小空間也能自由使用的1ms光纖型
    半階型

    光纖式輻射溫度計FTKX系列

    測量溫度范圍:100°C至2000°C

    • 纖維型(耐熱磁場)

    • 高溫

    • 用于通過石英

    • 0.1ms/1ms快速響應

    • 用于金屬

  • 1ms 輻射溫度計,規格可根據測量對象改變

    無纖維輻射溫度計 FLHX 系列

    測量溫度范圍:90°C 至 2000°C

    • 高溫

    • 用于通過石英

    • 0.1ms/1ms快速響應

    • 用于金屬

  • 金屬的高速測溫

    金屬用輻射溫度計
    TMHX-TME0050(H)系列

    測量溫度范圍:50°C至600°C

    • 用于金屬

    • 低溫

    • 用于通過石英

  • 金屬的高速測溫

    金屬用輻射溫度計
    TMHX-TME0050(E)系列
    小頭型

    測量溫度范圍:50°C至600°C

    • 用于金屬

    • 低溫

    • 用于通過石英

  • 甚至可以透過石英玻璃!

    穿透式石英輻射溫度計
    TMHX-CQE0500(H)系列
    小點型

    測量溫度范圍:50°C 至 500°C

    • 用于通過石英

    • 低溫

  • 甚至可以透過石英玻璃!

    穿透式石英輻射溫度計
    TMHX-CQE0500(E)系列
    小頭型

    測量溫度范圍:50°C 至 500°C

    • 用于通過石英

    • 低溫




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