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技術文章

yutaka半導體制造用壓力控制設備介紹

yutaka半導體制造用壓力控制設備介紹

用于高純度氣體的e-flow壓力調節器設計用于半導體工廠,具有更高的純度和最小的外部泄漏,顆粒和死區。
它用于半導體工廠設施(設備)的鋼瓶柜、連接件、閥箱和設備制造商的集成單元的各種氣體。
由于它是一種密封產品,因此非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性和氣體。

用于高純度氣體的壓力調節器陣容

L系列:接頭對焊規范、外密封金屬結構產品。
R系列; 本產品具有旋入式(NPT)規格和外部軟密封結構。 焊接規范是插入焊接。
D系列:帶先導結構的電子控制壓力調節器,將L和R系列與壓力控制單元相結合。
U系列; 主體采用特殊規格、對焊規格加工,外封為金屬密封結構。

關于潮汐式和自由式調節閥

我們的標準規格是自由提升閥芯法,但海外制造商使用潮汐隔膜式結構的情況很多。 根據結構的不同,各有利弊,但對于高純度支架,由于在氣密性檢查期間無死區和無手柄操作的想法,自由型是標準配置。

半導體制造用壓力控制設備一覽表

完善

功能

調節閥結構

兼容氣體

標準流量




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