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什么是準分子燈?

什么是準分子燈?

準分子燈,又稱紫外線準分子燈,通過采用準分子氣體配比獲得不同單色波長,如172nm、222nm或308nm等高強度的準分子紫外光。準分子發射的紫外線光具有單光譜特性,狹窄的光譜線和單色紫外輻射光譜使得它能用更集中的功率來進行光處理。

與傳統汞紫外線燈比較,準分子紫外線燈光強超大,靶向精準,無汞危害,綠色環保,可回收,無二次污染,克服現有技術瓶頸,以其高能量密度、低反應溫度、大反應面積、反應時間短的特性,在微電子、醫學、材料科學和環境保護等領域獲得廣泛的應用。

準分子光源特點


1、單色性好,紫外輸出能量集中,紫外輸出強度高,可達100mW/cm2;
2、非相干光有利于大面積加工;
3、無傳統光源固有的電極腐蝕現象,使用壽命極大加長;
4、可隨時瞬間開啟熄滅,無需預熱,無需快門,開關次數不影響使用壽命;
5、開啟和運行不受周圍環境溫度影響;
6、冷光源,不產生紅外輸出,對被處理對象無明顯加熱效應,適用于熱敏材料處理;
7、綠色環保,制造無需用汞,無二次污染和廢舊回收處理問題。


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使用準分子紫外光源的光學表面處理可以對薄膜材料等易受熱影響的物體進行低溫表面處理,因為由于光源的特性,被照射物體的溫度不易升高。 此外,光化學反應不太可能損壞工件。

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