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技術文章

芯片周邊曝光 UV-LED光源

他是一款由

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上,而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過搭載UV-LED,可降低耗電量、降低環境負荷、延長發光源壽命,并且不需要機械相關的消耗部件,從而大大降低客戶的運行成本
紫外線発光源紫外發光二極管
紫外線発光源壽命20000小時(推定壽命驅動電流最大時)※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制(通過遠程及手動控制點亮/熄滅)
光量調整機能UV-LED的電流調整光量調整范圍為20~100%
外裝材質不銹鋼
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米


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