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產品資料
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日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表

產品名稱: 日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表
產品型號: GPW系列
產品特點: 日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列
該產品是皮拉尼壓力表,可以測量從大氣壓到5×10 -2 Pa的很大范圍。
此外,該真空計的操作和顯示已從常規控制器上刪除,并且功能已縮小到必要的低限度,從而可以“降低成本"和“節省空間"。

日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表 的詳細介紹

日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列

日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表


該產品是皮拉尼壓力表,可以測量從大氣壓到5×10 -2 Pa的很大范圍。
此外,該真空計的操作和顯示已從常規控制器上刪除,并且功能已縮小到必要的低限度,從而可以“降低成本"和“節省空間"。

GPW系列的特點

  • 廣域測量:可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量。

  • 省線:通過集成傳感器和控制器實現省線,節省空間和省電

  • 可見度更高:配備可確認異常的LED

  • 一鍵式調節:一鍵式可調節大氣壓和零點

  • 可維護性:易于更換探頭

  • 燈絲材料/鉑(Pt):燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。

  • 測量值輸出信號:壓力為0?10V對數輸出標準設備

  • 改善的抗沖擊性:設計具有高抗沖擊性

  • 控制輸出信號:可輸出2個設定點(GPW-1)

  • 串行通訊規格:可以進行RS-232C / RS-485通訊(僅GPW-2)

  • 符合標準:符合CE標準

用途

  • 用于各種制造設備(例如太陽能電池,FPD,半導體和電子零件)的低真空區域中的過程控制

  • 用于各種工業設備(例如熔爐)的低真空區域中的過程控制

  • 用于具有多個處理腔室的各種制造設備的低真空區域中的過程控制,例如在線型和單晶片型

日本芝浦機電shibaura皮拉尼真空壓力表GPW系列

規范

模型GPW-1GPW-2
可連接探針之一
自適應探頭SWP-16(NW-16)
測量壓力范圍5.0×10 -2?1.0 ×10 5
測量精度*1×10 -1至1××10 4 Pa:±10%
5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa,1×10 4 Pa至1×10 5 Pa:±20%
重復性1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa:±2%
采樣時間50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出
輸出電壓DC 0?10 V
壓力指示(對數輸出)1.7 V?8.0 V,1 V /位
更新時間50毫秒
控制輸入信號集電極開路輸入,負邏輯
ADJ調整(零點調整,大氣壓調整)
--
控制輸出信號集電極開路輸出
負邏輯[額定值:30 VMAX,50 mAMAX,70 mW]
錯誤信號
設定點1、2
--
監控設定點設定點1,2:0至10 V日志輸出--
串行通訊規格--RS232C / RS485
LED顯示屏電源/錯誤:電源和錯誤指示燈
SET-1:設定值1 LED
SET-2:設定值2 LED
--
燈絲材料
工作溫度極限10-40°攝氏度
工作濕度范圍15至80%(但無凝結)
IP防護等級IP30(傳感器單元)
安裝姿勢沒有限制
電源電壓DC 18 V?30 V,2 W(開機時4.8 W)
I / O連接器D-sub15針(M2.6螺釘)
大眾150克(含SWP-16)
外形尺寸(電源部分)W xD x H(毫米)70 x 46 x 28
符合標準CE認證

*大氣壓調整和零點調整后的精度。


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