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產(chǎn)品資料
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日本napson高規(guī)半自動(dòng)四探針薄層電阻測量儀

產(chǎn)品名稱: 日本napson高規(guī)半自動(dòng)四探針薄層電阻測量儀
產(chǎn)品型號: RT-3000 / RG-2000
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本napson高規(guī)半自動(dòng)四探針薄層電阻測量儀
具有拳球醉佳電阻測量范圍的4探針法測量儀
測量模式可編程和圓形/方形測量兼容的繪圖軟件
自檢功能,厚度/外圍位置/溫度補(bǔ)償功能(用于硅)
根據(jù)電阻范圍從兩種類型的測試儀中選擇
(RT-3000(S):寬范圍的測量范圍,RT-3000(H):高阻的測量范圍)

日本napson高規(guī)半自動(dòng)四探針薄層電阻測量儀 的詳細(xì)介紹

日本napson高規(guī)半自動(dòng)四探針薄層電阻測量儀

 

測量規(guī)格

測量目標(biāo)

  • 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
  • 導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
  • 擴(kuò)散樣本
  • 硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延離子注入樣品
  • 其他(*請與我們聯(lián)系)

測量尺寸

?8英寸,或?156x156mm 

-選項(xiàng)(兼容大直徑尺寸:RG-3000型):?12英寸,?210 x 210毫米

 

測量范圍

①RT-3000(S);
[電阻(比電阻)]100μ至1MΩ·cm 
[片材電阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000(H); 
[片材電阻] 10m至1GΩ/ sq

測量規(guī)格

測量目標(biāo)

  • 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
  • 導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
  • 擴(kuò)散樣本
  • 硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延離子注入樣品
  • 其他(*請與我們聯(lián)系)

測量尺寸

?8英寸,或?156x156mm 

-選項(xiàng)(兼容大直徑尺寸:RG-3000型):?12英寸,?210 x 210毫米

 

測量范圍

①RT-3000(S);
[電阻(比電阻)]100μ至1MΩ·cm 
[片材電阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000(H); 
[片材電阻] 10m至1GΩ/ sq

映射圖像

  • 半自動(dòng)類型<br />(多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC])
  • 半自動(dòng)類型<br />(多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC])
  • 半自動(dòng)類型<br />(多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC])
  • 半自動(dòng)類型<br />(多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC])

 日本napson高規(guī)半自動(dòng)四探針薄層電阻測量儀

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