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ARK led光源芯片周邊曝光用

產品名稱: ARK led光源芯片周邊曝光用
產品型號: EW01S
產品特點: ARK led光源芯片周邊曝光用
適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上,而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。

ARK led光源芯片周邊曝光用 的詳細介紹

ARK led光源芯片周邊曝光用

ARK led光源芯片周邊曝光用

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上,而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。通過搭載UV-LED,可降低耗電量、降低環境負荷、延長發光源壽命,并且不需要機械相關的消耗部件,從而大大降低客戶的運行成本。

仕様

項目內容
使用環境溫度5~40度(無結露。)
電源電圧單相100~240V
電源周波數50/60赫茲
發光峰值波長365±5nm
光出力安定度+/-5%以內
初期紫外線強度2000mw/cm2以上(在365nm,距掩模0.5mm的距離)
強度分布的均勻性10%以下(4x)5mm區域)
紫外線発光源紫外發光二極管
紫外線発光源壽命20000小時(推定壽命驅動電流最大時)※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制(通過遠程及手動控制點亮/熄滅)
光量調整機能UV-LED的電流調整光量調整范圍為20~100%
外裝材質不銹鋼
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米

芯片周邊曝光用EW01S

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上,而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過搭載UV-LED,可降低耗電量、降低環境負荷、延長發光源壽命,并且不需要機械相關的消耗部件,從而大大降低客戶的運行成本。



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